Mikrosonde-EPMA

Mikrosonde-EPMA

Der Lehrstuhl für Mineralogie betreibt eine Elektronenstrahl-Mikrosonde (hochauflösendes REM mit angeschlossener WDS/EDS –Analyse) vom Typ Jeol JXA8200 Superprobe. Elektronen werden an einer Wolframkathode thermisch erzeugt. Effiziente und genaue Analysen werden durch fünf wellenlängendispersive und einem energiedispersiven Spektrometer bewerkstelligt. Die WDS- Spektrometer sind in der Lage die Elemente mit größerer Ordnungszahl 3 zu analysieren. Dazu stehen verschiedene Beugungskristalle (LIF, PET, TAP) sowie für leichte Elemente (Be, B, C, N, O, F) (LDE1, LDE2, LDEB) zur Verfügung.
Zusätzlich kann die Probe mittels Auflicht- und Durchlichtmikroskopie betrachtet werden. Die Mikrosonde ermöglicht die Bestimmung der chemischen Zusammensetzung verschiedenster Probenarten.
Der Probenhalter HSLSS XM-81010 der ESM ermöglicht Probendimensionen bis 9 x9 x 2 cm (L x B x H).

Jeol Superprobe mit 5 Spektrometern und EDS-System

 

Konfiguration der Spektrometer und Beugungskristalle der Elektronenstrahlmikrosonde (nach A. Kronz)

 

Sputter- und Bedampfungsmaschine MED 020, Fa. BAL-TEC
Probenhalter mit Standardmaterialien für Anschliffe und Dünnschliffe

 

Schleif- und Poliermaschine RotoPol 22 der Firma Struers für Anschliffe und Dünnschliffe

 

Die Elektronenstrahlmikrosonde JEOL JXA-8200 zeichnet sich durch folgende Parameter aus:

  • Fünf wellenlängendispersive Spektrometer (WDS):
  • Messbares Elementspektrum: 4-Be to 92-U (alle Elemente mit Z > 3).
  • Acht Beugungskristalltypen: TAP, PETJ, PETH, LDE1, LDE2, LDEB, LIF, und LIFH.
  • LDE1-, LDEB und TAP –Kristalle, sowie Ar/Methan-Durchflusszählern erlauben die Messung leichter Elemente
  • Energiedispersives Spektrometer (EDS):

Solid-state Si(Li) detector, liquid-nitrogen cooled, Ultrathin detector window.

Festkörper- (Si(Li)) Detektor, Flüssigstickstoff gekühlt, Ultradünnes Detektionsfenster.

  • Sekundärelektronen (SE) und Rückstreuelektronen (BSE) Bildgebung?:
  • Auflösung SE: 6 Nanometer (bei 30 kV Beschleunigungsspannung; 11 mm Arbeitsabstand).
  • Rückstreuelektronenbildmodi: Chemische Zusammensetzung (Summe) und Topographie (Differenz).
  • Linienanalyse und Abbildungsanalysen möglich (Mapping)
  • Matrix Korrektur mittels ZAF.
  • Schneller und großer Probenhalter (HSLSS XM-81010):

Maximale Probengröße: 100 x 100 x 50 mm (H).

Größtmöglicher Analysebereich: 90 x 90 mm.

  • Beschleunigungsspannung: 0.2 bis 30 kV (in 0.1 kV Stufen).
  • Bereich des Elektronenstrahlstroms: 10-12 bis 10-5 A
  • Stabilität des Elektronenstrahlstroms: ± 0.5 x 10-3/h; ± 3 x 10-3/12h
  • Integriertes Lichtmikroskop (Auflicht- und Durchlichtmikroskopie)